





等离子水洗式尾气处理器(WET SCRUBBER)被广泛应用于泛半导体、光伏等企业,是一个专门处理现场各种制程废气的系统。针对酸碱性无机类废气,通常采用喷淋洗涤工艺处理,废气进入洗涤腔,酸性废气与喷淋碱液进行化学反应,碱性废气与喷淋酸液进行化学反应,通过酸碱中和反应,将酸碱废气吸收,达到净化的效果。同时在废气水溶解的过程中,酸碱废水一般通过泵排,所以,半导体水洗式尾气处理器(Wet Scrubber)通常要求泵浦的体积适配、耐强腐蚀、振动小噪音低,且无泄漏风险。
目前,半导体等离子尾气处理器(Wet Scrubber)标配的非金属耐腐蚀磁力泵,进口磁力泵面临价格昂贵且生产制作周期长、服务不及时等诸多问题,已不能满足国内泛半导体行业尾气处理批量需求;国产磁力泵又频现质量问题,在高温介质下长周期高频运行,其泵体极易变形出现噪音异常、振动偏大,甚至后盖磨穿导致介质泄漏,存在使用寿命短、故障率高等痛点。广东企华工业设备有限公司凭借16年耐酸碱磁力泵技术沉淀,推出“半导体等离子尾气处理器专用防腐磁力泵”,实现了尾气设备配泵的微型化、耐酸碱、小振动、超静音、长周期稳定运行零泄漏。
企华MD系列小型耐酸碱磁力泵优选PPH或PVDF耐腐蚀材质。作为目前泛半导体水洗式尾气处理器专用防腐磁力泵,综合性能可媲美进口泵浦,其国产替代的主要技术特点包括:
小振动超静音:MD高性能小型磁力泵在尾气处理器内运行时,正常噪音值35dB左右,正常振动值1mm/s,非常适合在半导体静音车间运行使用。
微型紧凑尺寸:机柜底部安装,体积小型化,是配套尾气处理设备的理想选择。
耐腐蚀+零泄漏:PPH耐腐蚀材质,泵体长期耐受80度内酸碱废水不变形;采用无轴封磁力驱动,杜绝泄漏。
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